11月26日~28日，第四届粤港澳真空科技创新发展论坛暨广东省真空学会2020年学术年会在季华实验室举行，来自省内外150余家单位、350余名专家学者、工程技术人员与企业管理人员参加本次大会，共话真空科技创新发展。

“佛山是全国工业体系最完备、工业技术最雄厚的城市之一。”佛山市科学技术局党组书记、副局长薛立伟也借此机会向与会嘉宾大力推介佛山。他表示，市科技局将和季华实验室共同努力，打造企业为主体、市场为导向、产学研深度融合的创新体系，为来佛山创新创业的科学家、科技工作者提供一流的服务。

据悉，本次论坛以“前沿新材料产业与真空技术应用”为主题，共设一个主会场和两个分会场，进行了50多场学术报告交流，涉及真空装备与工艺、光电功能薄膜与器件、硬质涂层与表面工程、真空与半导体产业发展等专题。

季华实验室副主任陈俊江向来宾介绍了季华实验室最新建设进展。他表示，半导体技术与装备是季华实验室主要研究方向之一。实验室参与了微纳电子国家实验室(张江)广州基地建设，承担国产装备及关键零部件项目研发工作。

陈俊江透露，接下来，实验室将联合集成电路产业技术联盟和集成电路零部件产业联盟，加强实验室与企业、高校和科研机构的创新交流合作，推动科技资源与人才的共享，打造半导体协同创新平台；布局“十四五”，积极承担国家广东省重大任务；在佛山规划建设半导体装备零部件产业集群创新示范区。

 据介绍，经过两年多的探索和实践，季华实验室已引进了22个海内外高端团队，其中全职引进中科院院士1名，兼职院士12名；争取到国家和省重大项目10项，总经费达到5.1亿元；已申请发明专利308件；孵化企业8家。今年底，一期工程12.8万平方米建筑将全部投入使用，相关科研团队和设备将在近期陆续完成入驻；二期工程预计2022年6月交付使用。

采写、拍摄 ：南都记者洪诗敏  通讯员宋词 

编辑：洪诗敏