3月11日，广州增芯科技有限公司12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目（以下简称“增芯项目”）在增城经济技术开发区举行光刻机搬入活动，这标志着增芯项目正式步入调试投产准备阶段。据悉，该项目预计今年6月通线，9月实现产品下线，并于12月交付客户。

光刻机搬入现场。通讯员供图

近年来，广州市增城区正致力于构建以“芯显车”为主导的现代化产业体系。其中，在集成电路产业方面，增城已相继布局增芯、越海等一批重点项目，涵盖了集成电路制造、封测、装备、材料和平台等关键环节。

值得一提的是，今年，增芯项目首次被写入广东省政府工作报告。报告中指出，全省要坚持实体经济为本、制造业当家，建设更具国际竞争力的现代化产业体系，加快形成新质生产力。发展集成电路、新型储能、前沿新材料、超高清视频显示、生物制造、商业航天等新兴产业，推进粤芯三期、华润微、广州增芯、方正微等芯片项目建设。

据介绍，增芯项目一期总投资达70亿元，预计建成后将具备年产24万片12英寸晶圆的生产能力，产品主要应用于汽车电子、物联网、类工业以及消费电子等领域。根据发展规划，增芯项目将围绕“3月光刻机进场、6月通线、9月产品下线、12月交付客户”的阶段性目标，推进竣工验收、产能通线、工厂运营、良率提升和产品交付等各项工作。

“光刻机是全球最精密的科学仪器之一，在整个芯片制造当中是最关键的核心装备。”广州增芯科技有限公司总裁张亮解释道，光刻机的原理类似于晶圆制造的一个照相机。通过光线曝光的方式，光刻机将光罩上设计好的芯片图形印到光感材料上，形成图形，引导后续芯片的定位和刻蚀。“光刻机是生产线最核心的装备。可以说，只要光刻机进场了，离我们正式通线和产品量产指日可待。” 

广州市增城区有关负责人表示，增城正在加快建设高端电子信息新材料产业园，打造智能传感器产业园，构建粤港澳大湾区的半导体产业聚集区和产业高地。“接下来，增城将继续支持增芯项目的建设，保障项目顺利投产。同时，增城还将以增芯项目等新兴产业为抓手，吸引更多产业链优质资源落户，推动战略性新兴产业成链集群发展。”

南都广州新闻部出品

采写：南都记者 张德威 通讯员 何秋玲 谢锡权

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南方都市报记者